簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Particle Swarm Optimization".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"


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    基於粒子群多目標最佳化演算法實現光罩光源同步最佳化
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生: Zendhiastara Arthananda Yudhi 指導教授: 郭鴻飛
    • 本論文將粒子群多目標最佳化(MOPSO)演算法整合到光源和光罩同步優化(SMO)過程中,以增強極紫外(EUV)光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…
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    投影式微影之光源模態最佳化研究
    • 自動化及控制研究所 /102/ 碩士
    • 研究生: 吳韋辰 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程有兩項重要指標,一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上,二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
    • 點閱:537下載:33
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